证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现敏芯股份（688286）新取得一项发明专利授权，专利名为“微机电结构及其制作办法、晶圆、麦克风和终端”，专利请求号为CN7.4，授权日为2025年3月14日。
专利摘要：本请求揭露了一种微机电结构及其制作办法、晶圆、麦克风和终端，该制作办法有：在衬底上方构成榜首背板；在榜首背板上构成第二献身层；在第二献身层上构成振膜，振膜沿第二献身层的侧壁、榜首背板的侧壁延伸至衬底上；以及去除部分第二献身层，余下的第二献身层作为第二支撑部。该制作办法经过令振膜掩盖第二献身层的侧壁，减小了开释工艺中开释液从第二献身层的侧壁腐蚀的危险。
今年以来敏芯股份新取得专利授权16个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。
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