MEMS（全称为Micro Electromechanical System），即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
2022年全球MEMS（微机电系统）器件的市场规模为145亿美元，预计2022-2028年间市场规模明显地增长，从145亿美元攀升至200亿美元。在各类MEMS器件中，射频MEMS器件占据最大市场占有率，预计到2028年，其市场规模将达到41.3亿美元。中国已成为全世界MEMS产业最大单一市场，增速远高于全球中等水准，展现出了蓬勃发展的势头。但国内MEMS产品的技术水平与国外相比仍有很大的差距，尤其高端MEMS传感器普遍受到西方国家制约。
政策方面，近几年，我国也在不断地支持MEMS产业的发展。2021年1月15日，工信部印发《基础电子元器件产业高质量发展行动计划（2022-2024年）》，明白准确地提出在建设科技服务平台时，提出鼓励建设专用电子元器件生产线，为MEMS传感器、滤波器、光通信模块驱动芯片等提供流片服务。2021年3月，国务院发布了《中华人民共和国国民经济与社会持续健康发展第十四个五年规划和2035年远大目标纲要》，其中提出瞄准人工智能、量子信息、集成电路、生命健康、脑科学、生物育种、空天科技、深地深海等前沿领域，实施一批具有前瞻性、战略性的国家重大科学技术项目。在集成电路领域，提出集成电路先进工艺和绝缘栅双极型晶体管（IGBT）、微机电系统（MEMS）等特色工艺突破。2021年9月，中国电子元件行业协会发布了《中国电子元件行业“十四五”发展规划》，其中提到重点建设为MEMS传感器芯片提供代工的公共服务平台，打破小批量、多批次、工艺特殊的MEMS传感器发展瓶颈。能预见，MEMS行业具有较大的发展潜力。
中投产业研究院发布的《2024-2028年中国微机电系统（MEMS）行业投资分析及前景预测报告》共十一章。首先介绍了微机电系统的概念、基本特征，报告对MEMS行业的发展环境、运作情况和应用状况作了详细分析。随后，报告对MEMS行业典型投资项目做了详细分析，并对国内外MEMS重点公司运营情况做了分析。最后，报告重点分析了MEMS行业投资情况，并对其未来发展前途进行了科学合理的预测。